1. Úvod Úvod do vakua - vakuum, historie, jednotky tlaku, základy termodynamiky, stavová rovnice, kinetická teorie plynů, tlak vs. koncentrace částic v objemu, ideální a reálný plyn, páry plynů a tenze par. Vakuum v přírodě, vědě a průmyslu. 2. Objemové procesy v plynu Tepelná transpirace, difúze, přenos tepla, přenos impulzu, molekulové procesy v plynech. 3. Interakce plynu s povrchem Vazba částic, adsorpce, fyzikální a chemická adorpce, kosinový zákon, pohyb adsorbovaných molekul, migrace molekul na stěně, vypařování, tlak nasycených par. 4. Procesy ve stěnách vakuových systémů Proudění plynu netěsnostmi, kapilární kondenzace, absorbce, difúze a pronikání plynu kompaktními látkami. 5. Proudění plynů Definice a typy proudění, Knudsenovo a Rynoldsovo číslo, viskózní a laminární proudění, vodivost potrubí, vztahy a výpočet proudění (trubice, diafragma, koleno, komplexní geometrie), měření vodivostí. 6. Metody získávání nízkých tlaků - fyzika čerpání Vakuový systém, pokles tlaku v čase, čerpací rychlost, efektivní čerpací rychlost, zpětný proud, mezní tlak, kompresní poměr, rozdělení tlaku ve vakuových systémech, analogie s elektrickým obvodem. 7. Transportní vývěvy Vývěvy s pracovní komorou (pístová, membránová, rotační a olejové vývěvy, suché vývěvy - scroll), vývěvy pracující na přenosu impulzu (molekulární, turbomolekulární, Rootsova, olejová difúzní) 8. Sorpční vývěvy Vývěvy založené na vazbě molekul (adsorpce, kryosorpce, chemisorpce), kondenzační vývěvy, sorpční a kryosorpční vývěvy, metody getrování, vývěvy iontové. 9. Měření tlaků Absolutní meřící metody, manometry kapalinové, membránové (baratrony), molekulární, nepřímé měřící metody, manometry tepelné (pirani), manometry ionizační, Pennigovy manometry, sorpční měřící metody. 10. Měření parciálních tlaků, tenze par, detekce netěsností Netěsnosti, detekce netěsností, hmotnostní spektrometrie pro detekci netěsnotí, hmotové spektrometry, měření tenze par, měření proudění plynu, virtuální netěsnosti, 11. Vakuové systémy + exkurze do laboratoře Konstrukce vakuových systémů, vakuové komory, komponenty, design, pravidla, vakuově těsné spojování, vakuové komponenty (vývěvy, manometry, spojky, potrubí a rozvod plynů, tlakové lahve, ventily, průchodky, nastavení tlaků a další). Exkurze laboratoř. 12. Vakuové technologie Výrobci vakuové techniky - přehled, vakuový materiál (oleje, keramiky, kovové materiály, plasty, vakuová kompatibilita). Technologické procesy využívající vakuum a nízké tlaky - přehled.
|
-
A. Roth, Vacuum Technology, Elsevier, (1990).
-
B. Suurmeijer, T. Mulder, J. Verhoeven, Vacuum Science and Technology, High Tech Institute, (2016)..
-
J. Groszowski, Technika vysokého vakua, SNTL, Praha, (1981).
-
J. Král, Cvičení z vakuové techniky, skriptum ČVUT, Praha, (1996).
-
K. Jousten, Handbook of Vacuum Technology, Wiley-Vch (2008).
-
L. Pátý, Fyzika nízkých tlaků, Academia, Praha, (1968).
-
The Vacuum Technology Book - příručka vydávaná společností Pfeiffer Vacuum, (2015)..
|